アルミニウム化合物、薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法
- 专利权人:
- 株式会社ＡＤＥＫＡ
- 发明人:
- 吉野 智晴,桜井 淳,白鳥 翼,畑▲瀬▼ 雅子,内生蔵 広幸,西田 章浩
- 申请号：
- JP20140554256
- 公开号：
- JPWO2014103588(A1)
- 申请日:
- 2013.11.26
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本発明は、下記一般式（Ｉ）で表されるアルミニウム化合物に関する。また本発明は、該アルミニウム化合物を含有してなる薄膜形成用原料に関する。下記一般式（Ｉ）式中、Ｒ1及びＲ2は各々独立に炭素数２〜５の直鎖又は分岐状のアルキル基を表し、Ｒ3はメチル基又はエチル基を表す。Ｒ1及びＲ2がエチル基であることが好ましい。本発明の化合物は、低融点であり、充分な揮発性を示し且つ高い熱安定性を有し、ＣＶＤ法による薄膜形成用原料として適している。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
