研磨方法、研磨装置
- 专利权人:
- アルバック成膜株式会社;株式会社ファインサーフェス技術
- 发明人:
- 堀口 秀,内田 亮,中畦 修
- 申请号：
- JP20150225166
- 公开号：
- JP2017087407(A)
- 申请日:
- 2015.11.17
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】ガラス基板の他方の主面側に欠陥を低減することが可能な研磨方法および研磨装置を提供する。【解決手段】フォトマスクブランクス用のガラス基板を研磨する研磨装置を用いた研磨方法であって、前記ガラス基板を挟持する上定盤および下定盤に、研磨パッドをそれぞれ貼りつける工程と、前記研磨パッドから、前記上定盤に形成された液体の供給穴に向けて穿孔することにより、前記研磨パッドに開口を形成する工程とを備えたことを特徴とする。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
