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炭化珪素インゴットの製造方法、炭化珪素種基板、炭化珪素基板、半導体装置および半導体装置の製造方法
- 专利权人:
- 住友電気工業株式会社
- 发明人:
- 佐々木 信
- 申请号：
- JP20150535902
- 公开号：
- JPWO2015182474(A1)
- 申请日:
- 2015.05.21
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 炭化珪素インゴットの製造方法は、第１主面（Ｐ１）と、第１主面（Ｐ１）の反対側に位置する第２主面（Ｐ２）とを有する炭化珪素種基板（１０ａ）を準備する工程と、第２主面（Ｐ２）上に２０００℃以下の温度で金属炭化膜（１１）を形成する工程と、金属炭化膜（１１）が形成された炭化珪素種基板（１０ａ）を支持部材（５１ａ）に支持させながら、昇華法によって第１主面（Ｐ１）上に炭化珪素単結晶（１００）を成長させる工程と、を備える。成長させる工程において、炭化珪素種基板（１０ａ）の表面のうち支持部材（５１ａ）によって支持される被支持部（ＳＤ）は、金属炭化膜（１１）が形成された領域以外にある。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
