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炭化珪素単結晶の製造方法および炭化珪素単結晶の製造装置
- 专利权人:
- 住友電気工業株式会社
- 发明人:
- 櫻田 隆,高須賀 英良,原田 真,佐々木 将,梶 直樹,仲田 博彦
- 申请号：
- JP20150208034
- 公开号：
- JP2017078008(A)
- 申请日:
- 2015.10.22
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】炭化珪素単結晶の成長中における温度制御の精度低下を抑制する。【解決手段】炭化珪素単結晶の製造方法は、坩堝３の内側に、固体の炭化珪素原料４と、種結晶５とを配置する工程と、坩堝３の外側にパイプ１０を配置する工程と、炭化珪素原料４を昇華させることにより、種結晶５上に炭化珪素単結晶６を成長させる工程とを備える。パイプ１０の内部には遮蔽部１６が設けられている。遮蔽部１６は、坩堝３に対面する第１面と、当該第１面と反対側の第２面とを有する。炭化珪素単結晶６を成長させる工程は、第１面が坩堝３に対面するように配置された状態で、第２面の温度を測定する工程を含む。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
