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油拡散ポンプ及び真空成膜装置
- 专利权人:
- 株式会社シンクロン
- 发明人:
- 税所 慎一郎
- 申请号：
- JP20150505152
- 公开号：
- JPWO2014141421(A1)
- 申请日:
- 2013.03.14
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 作動油加熱源としてヒータ線を用いたときの問題を解消できる油蒸気発生器を備えた油拡散ポンプを提供する。ケーシング５１内に油蒸気発生器７０が配置され、この油蒸気発生器７０を作動させることで作動油８を蒸気化して油蒸気とし、この油蒸気をジェット５３，５３ａから噴射して吸入気体を排気動作する真空ポンプである。油蒸気発生器７０は、立設方向に延在する、被加熱材料からなる筒部材７１の下端を閉塞させた、内部に油を貯留するための容器７１，７２と、絶縁材料７３を介して筒部材７１（特にケース内壁７１ｂ）の大気側周囲に巻回された誘導コイル７５と、誘導コイル７５に数１０Ｈｚから数１００Ｈｚの低周波交流を印加する給電手段とを備える。そして、給電手段を作動させコイル７５に低周波交流を印可することによって筒
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
