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真空成膜装置と真空成膜方法
- 专利权人:
- 住友金属鉱山株式会社
- 发明人:
- 大上 秀晴
- 申请号：
- JP20150234948
- 公开号：
- JP2017101282(A)
- 申请日:
- 2015.12.01
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】耐熱性長尺樹脂フィルムに作用する熱負荷が増大してもフィルム皺の発生が回避される真空成膜装置（成膜方法）を提供する。【解決手段】冷却キャンロール56とこの外周面に沿って配置された熱負荷を伴うマグネトロンスパッタリングカソード（成膜手段）57-60と前フィードロール55を備え、ロールツーロールにより搬送される長尺樹脂フィルム52が前フィードロールを介し冷却キャンロールに巻き付けられると共に長尺樹脂フィルムの表面側に成膜処理を行う真空成膜装置（方法）であって、冷却キャンロール56の外周面が軸方向中央部より軸方向両端部が低いクラウン状に形成され、かつ、上記前フィードロール55の外周面に対し接離可能に制御されたニップロール65が付設されていることを特徴とする。【選択図】図３
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
