仮接着用組成物、硬化膜および半導体素子の製造方法
- 专利权人:
- 富士フイルム株式会社
- 发明人:
- 増田 誠也,加持 義貴,室 祐継
- 申请号：
- JP20160170282
- 公开号：
- JP2018035279(A)
- 申请日:
- 2016.08.31
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】長期間保存しても、残渣を効果的に除去可能な、仮接着用組成物、硬化膜および半導体素子の製造方法の提供。【解決手段】エラストマーと、溶剤とを含み、上記溶剤は、トルエンと、トルエン以外の、アルキル基を有する芳香族炭化水素系溶剤とを含み、上記溶剤中におけるトルエンの含有量が０．１〜３００質量ｐｐｍである、仮接着用組成物。【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
