您的位置: 首页 > 农业专利 > 详情页

CMPパッドコンディショナーの製造方法
专利权人:
イファ ダイヤモンド インダストリアル カンパニー,リミテッド
发明人:
リ,セ クァン,キム,ヨン チョル,リ,ジュ ハン,チェ,ジェ クァン,ブ,ジェ ピル
申请号:
JP20160092587
公开号:
JP6260802(B2)
申请日:
2016.05.02
申请国别(地区):
日本
年份:
2018
代理人:
摘要:
This invention relates to a conditioner for a CMP (Chemical Mechanical Polishing) pad, which is used in a CMP process which is part of the fabrication of a semiconductor device, and more particularly, to a CMP pad conditioner in which the structure of the cutting tips is such that the change in the wear of the polishing pad is not great even when different kinds of slurry are used and when there are changes in pressure of the conditioner, and to a method of manufacturing the same.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

意 见 箱

匿名:登录

个人用户登录

找回密码

第三方账号登录

忘记密码

个人用户注册

必须为有效邮箱
6~16位数字与字母组合
6~16位数字与字母组合
请输入正确的手机号码

信息补充