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遮蔽格子及びトールボット干渉計
专利权人:
CANON INC
发明人:
NAKAMURA TAKASHI,中村 高士,SATO GENTA,佐藤 玄太
申请号:
JP2014160674
公开号:
JP2015072261A
申请日:
2014.08.06
申请国别(地区):
JP
年份:
2015
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a masking grating and a Talbot interferometer provided with the masking grating for making the acquisition of phase information in the overlapped regions easier than heretofore, when two-dimensional small masking gratings are overlapped with each other.SOLUTION: A masking grating 4 includes a plurality of small masking gratings 3 in which transmission parts 9 transmitting an X-ray and shielding parts 8 shielding the X-ray are arranged. Each of the small masking gratings 3 includes a two-dimensional grating region arranged in two directions where the transmission parts 8 and the shielding parts 9 intersect each other and one-dimensional grid region where the transmission parts and the shielding parts are arranged in a one-dimensional direction. The one-dimensional region is formed at least in a part of an outer periphery of the two-dimensional grating region. The masking grating includes an overlapping region 10 where at least parts of the one-dimensional regions possessed by mutually adjacent small masking gratings 3 among the plurality of small masking gratings 3 are overlapped with each other, and the arrangement directions of the small masking gratings intersect each other in the overlapping region 10.COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】2次元の小遮蔽格子を重ね合わせる場合において、重ね合わせた領域における位相情報の取得を従来よりも容易にすることが可能となる遮蔽格子及び該遮蔽格子を備えるトールボット干渉計を提供する。【解決手段】遮蔽格子4は、X線を透過する透過部9とX線を遮蔽する遮蔽部8とが配列された、複数の小遮蔽格子3を備える。小遮蔽格子3のそれぞれは、透過部9と遮蔽部8とが交差する2方向に配列された2次元の格子領域と、透過部と遮蔽部とが1方向に配列された1次元の格子領域とを有する。1次元の格子領域は、2次元の格子領域の外周の少なくとも一部に形成されている。遮蔽格子は、複数の小遮蔽格子3のうち、隣り合う小遮蔽格子3が有する1次元の格子領域同士の少なくとも一部が重なる重なり領域10を有し、重なり領域10において、小遮蔽格子同士の配列方向が交差する。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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