PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an imaging apparatus that can determine information on phases differentiated in two crossing directions by uni-directionally scanning shield gratings with respect to interference patterns.SOLUTION: The imaging apparatus includes: a diffraction grating forming the interference patterns 10 where a bright part and a dark part are two-dimentionally arranged, by diffracting light from a light source the shield gratings 12 where a light permeating part for permeating light from the diffraction grating and a light shielding part for shielding the light from the diffraction grating are arranged two-dimensionally a moving unit changing a relative position of the interference patterns 10 with respect to the shield gratings 12 a detector detecting the light from the shield gratings 12 multiple times and a calculation unit calculating a differential value of the phases in a first direction 28 and a second direction 30 perpendicular to the first direction 28. While the moving unit is changing the relative position into a third direction 24, which is different from the first and second directions, the detector detects the light multiple times, based on a change of the relative position to acquire a plurality of detection results.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】 干渉パターンに対して遮蔽格子を1方向へ走査することで交差する2つの方向に微分された位相の情報を得ることが可能な撮像装置を提供すること。【解決手段】 撮像装置は、光源からの光を回折することによって、明部と暗部とが2次元に配列した干渉パターン10を形成する回折格子と、回折格子からの光を透過する透過部と回折格子からの光を遮る遮蔽部とが2次元に配列した遮蔽格子12と、干渉パターン10と遮蔽格子12との相対位置を変化させる移動手段と、遮蔽格子12からの光を複数回検出する検出器と、検出器による複数の検出結果に基づいて、第1の方向28と第1の方向28と交差する第2の方向30とにおける位相の微分値を算出する算出手段と、を備える。検出器は、移動手段が相対位置を第1および第2の方向と異なる第3の方向24に変化させている間に相対位置の変化に対応して光を複数回検出することで、複数の検出結果を取得する。【選択図】 図4
