您的位置: 首页 > 农业专利 > 详情页

IMAGING DEVICE
专利权人:
CANON INC;キヤノン株式会社
发明人:
HANDA SOICHIRO,半田 宗一郎
申请号:
JP2015225694
公开号:
JP2017093496A
申请日:
2015.11.18
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology to perform imaging while suppressing as much as possible a change in a moire fringe phase corresponding to a measurement spot when imaging a subject that moves relatively with respect to a grating.SOLUTION: An imaging device includes: an interferometer having a first grating for diffracting an electromagnetic wave that penetrates a subject and forming an interference pattern, a second grating for forming moire between itself and the interference pattern, and a detector for imaging the moire; and moving means for relatively moving the subject in a first direction with respect to the second grading. The imaging device continuously images the moire by the detector while relatively moving the subject in the first direction by the moving means. The periodic direction of the moire is perpendicular or roughly perpendicular to the first direction.SELECTED DRAWING: Figure 1【課題】格子に対して相対移動する被検体を撮像する場合に、測定箇所に対応するモアレ縞位相の変化を可及的に抑制しつつ撮像を行うことが可能な技術を提供する。【解決手段】本発明の撮像装置は、被検体を透過した電磁波を回折して干渉パターンを形成する第1の格子、前記干渉パターンとの間でモアレを形成する第2の格子、および、前記モアレを撮像する検出器、を有する干渉計と、前記第2の格子に対して前記被検体を第1の方向に相対的に移動させる移動手段と、を備え、前記移動手段によって前記被検体を前記第1の方向に相対的に移動させながら前記検出器によって前記モアレを連続的に撮像する、撮像装置において、前記モアレの周期方向が前記第1の方向に対し垂直又は略垂直である。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

意 见 箱

匿名:登录

个人用户登录

找回密码

第三方账号登录

忘记密码

个人用户注册

必须为有效邮箱
6~16位数字与字母组合
6~16位数字与字母组合
请输入正确的手机号码

信息补充