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ロールツーロール方式の表面処理装置並びにこれを用いた成膜方法及び成膜装置
- 专利权人:
- 住友金属鉱山株式会社
- 发明人:
- 大上 秀晴
- 申请号：
- JP20160162787
- 公开号：
- JP2018031039(A)
- 申请日:
- 2016.08.23
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】 コストを抑えつつ長尺基材にシワがほとんど発生しないよう処理することが可能なロールツーロール方式の長尺基材の表面処理装置を提供する。【解決手段】 真空チャンバー１０内においてロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムＦを外周面に巻き付けて内部を循環する冷媒で冷却する２個のキャンロール１７、２３と、これら２個のキャンロール１７、２３の外周面に対向する位置に設けられたマグネトロンスパッタリングカソード４１〜４８に代表される表面処理手段とを有する表面処理装置であって、これら２個のキャンロール１７、２３のうち、最も上流側に位置する第１キャンロール１７以外の第２キャンロール２３は外周面からガスを放出するガス放出機構を備えている。【選択図】 図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
