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ロールツーロール方式の表面処理装置並びにこれを用いた成膜方法及び成膜装置
- 专利权人:
- 住友金属鉱山株式会社
- 发明人:
- 大上 秀晴
- 申请号：
- JP20160162788
- 公开号：
- JP2018031040(A)
- 申请日:
- 2016.08.23
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】 上流側と下流側で互いに隣接するキャンロールのうちの一方の張力制御が他方に影響を及ぼすのを防止することが可能な表面処理装置を提供する。【解決手段】 真空チャンバー１０内においてロールツーロールの搬送経路に沿って搬送される長尺基材としの長尺樹脂フィルムＦの表面処理装置であって、長尺樹脂フィルムＦを外周面に巻き付けて内部を循環する冷媒で冷却する２個のキャンロール１７、２３と、これら２個のキャンロール１７、２３の各々の外周面に対向する位置に設けられたスパッタリングカソード４１〜４８の等の表面処理手段とを有し、これら２個のキャンロール１７、２３のうち最も上流側に位置する第１キャンロール１７と、その下流側の第２キャンロール２３との間の搬送経路にテンションカット用の駆動ロール２０
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
