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ロールツーロール方式による長尺基材の処理装置及びこれを用いた成膜装置
- 专利权人:
- 住友金属鉱山株式会社
- 发明人:
- 大上 秀晴
- 申请号:
- JP20160162786
- 公开号:
- JP2018031038(A)
- 申请日:
- 2016.08.23
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要:
- 【課題】サイズを大型化することなく両面処理用又は片面処理用の経路を選択可能なロールツーロール方式の処理装置の提供。【解決手段】真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムFをその搬送経路上に設けた2個のキャンロール17、23の外周面にそれぞれ巻き付けて冷却しながら該外周面に対向する位置に設けた表面処理手段41〜48で表面処理する処理装置であって、後流側のキャンロール23は、その外周面に長尺樹脂フィルムFを巻き付ける働きを有する送込み送出し機構が上下に2セット設けられており、長尺樹脂フィルムFがこれら2セットの送込み送出し機構のうちの下側を走行する時と、上側を走行する時とではキャンロール23の外周面に接する長尺樹脂フィルムFの面が互いに逆になる。【選択
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/