光学素子、投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法
- 专利权人:
- 株式会社ニコン
- 发明人:
- 神高 典明
- 申请号：
- JP20170006495
- 公开号：
- JP2017076150(A)
- 申请日:
- 2017.01.18
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】広い角度範囲でほぼ一定の反射率を得ることが可能であり、膜構造の修正及び調整が容易な多層膜を有する光学素子、投影光学系、露光装置及びデバイス製造方法を提供すること。【解決手段】光学素子は、基材と、前記基材上に配置され、第一層と前記第一層上に配置された第二層とを有する単位積層構造が複数積層された多層膜と、前記単位積層構造同士の層間のうち互いに異なる層間に配置された複数のスペーサ層とを備え、前記スペーサ層は、前記単位積層構造を構成する物質よりも光の消衰係数が小さくなる物質を含み、前記スペーサ層は、前記単位積層構造に直接接触して設けられている。【選択図】図１
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