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マイクロリソグラフィー投影露光装置用光学システム及びマイクロリソグラフィー露光方法
专利权人:
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人:
インゴ ゼンガー,フランク シュレゼナー
申请号:
JP20150532407
公开号:
JP6140290(B2)
申请日:
2013.09.19
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
The invention relates to an optical system for a microlithographic projection exposure apparatus, and to a microlithographic exposure method. An optical system for a microlithographic projection exposure apparatus comprises at least one mirror arrangement having a plurality of mirror elements, wherein these mirror elements can be adjusted independently of one another for changing an angular distribution of the light reflected by the mirror arrangement, and a polarization-influencing optical arrangement which is arranged downstream of the mirror arrangement in the light propagation direction, wherein the polarization-influencing optical arrangement reflects a light beam incident on the arrangement in at least two reflections, which do not occur in a common plane, for at least one angular distribution of the light reflected by the mirror arrangement.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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