保持装置、投影光学系、露光装置、および物品製造方法
- 专利权人:
- キヤノン株式会社
- 发明人:
- 春見 和之
- 申请号：
- JP20160135253
- 公开号：
- JP2018005117(A)
- 申请日:
- 2016.07.07
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】曲面を有する光学素子の自重変形の影響を軽減するのに有利な保持装置を提供する。【解決手段】曲面を有する光学素子Ｍを保持する保持装置１１０であって、光学素子Ｍを支持する支持部材１１２を有し、光学素子Ｍの光軸の方向と重力の方向とを含む平面内において、支持部材１１２は、支持部材１１２が光学素子Ｍを支持する部分を光軸の方向に対して傾けて支持している。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
