成膜用粉末及び成膜用材料
- 专利权人:
- 日本イットリウム株式会社
- 发明人:
- 佐藤 龍一,深川 直樹,重吉 勇二,松倉 賢人
- 申请号：
- JP20160524155
- 公开号：
- JPWO2016129457(A1)
- 申请日:
- 2016.02.02
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本発明の成膜用粉末は、希土類元素のオキシフッ化物（Ｌｎ−Ｏ−Ｆ）を含有する成膜用粉末であって、粉末の平均粒子径（Ｄ50）が、０．１μｍ以上１０μｍ以下であり、水銀圧入法により測定した直径１０μｍ以下の細孔の容積が０．１ｃｍ3／ｇ以上０．５ｃｍ3／ｇ以下であり、かつ粉末のＣｕ−Ｋα線又はＣｕ−Ｋα1線を用いるＸ線回折測定において、２θ＝２０度〜４０度の範囲に観察される希土類元素の酸化物（ＬｎxＯy）の最大ピークの強度（Ｓ０）と、同範囲に観察される希土類元素のオキシフッ化物（Ｌｎ−Ｏ−Ｆ）の最大ピーク強度（Ｓ１）との比（Ｓ０／Ｓ１）が１．０以下である。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
