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成膜用材料
- 专利权人:
- 日本イットリウム株式会社
- 发明人:
- 佐藤 龍一,山口 靖英,重吉 勇二
- 申请号：
- JP20150201362
- 公开号：
- JP2017071843(A)
- 申请日:
- 2015.10.09
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】コスト面及び資源調達の面で優位性を有し、且つフッ素系ガス等のハロゲン系ガスを用いたプラズマに対して高い耐食性を有する成膜用材料を提供する。【解決手段】本発明の成膜用材料は、アルミニウムのオキシフッ化物を含むか、或いは、酸素と、アルミニウムのフッ化物とを含み、酸素の含有割合が０．５質量％以上４０質量％未満である。本発明の成膜用材料は、アルミニウムのオキシフッ化物を含む場合、酸素の含有割合が０．５質量％以上４０質量％未満であることが好ましく、またアルミニウムのフッ化物を更に含むことが好ましい。本発明の成膜用材料は、粉末、顆粒及びスラリーのいずれかの形態を有することが好ましい。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
