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水反応性Al複合材料、水反応性Al合金溶射膜、このAl合金溶射膜の製造方法、及び成膜室用構成部材
专利权人:
株式会社アルバック
发明人:
中村 亮太,森田 正,虫明 克彦
申请号:
JP20150559340
公开号:
JPWO2016035599(A1)
申请日:
2015.08.24
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
Alに、Al重量基準で、0.2wt%以上2wt%以下のBi、1.5wt%以上8wt%以下のSi、0.2wt%以上4wt%以下のTi、0.2wt%以上2wt%以下のCe、及び0.2wt%以上2wt%以下のMgを添加してなる溶射用水反応性Al複合材料。このAl複合材料からAl合金溶射膜を得、このAl合金溶射膜で成膜室用構成部材を覆う。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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