金属酸化物薄膜、金属酸化物薄膜を堆積する方法及び金属酸化物薄膜を備える装置
- 专利权人:
- プランゼー エスエー
- 发明人:
- ヒトスギ、タロウ
- 申请号：
- JP20170523838
- 公开号：
- JP2018502215(A)
- 申请日:
- 2015.11.05
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 本発明は、Ｒｅ、Ｍｎ及びＲｕの群から選ばれる少なくとも１つのドーピング元素を含有するβ−ＭｏＯ３を含有してなる金属酸化物薄膜に関する。本発明は、更に、スパッタリングにより、そのような金属酸化物薄膜を製造する方法並びにＲｅ、Ｍｎ及びＲｕの群から選ばれる少なくとも１つのドーピング元素を含有するβ−ＭｏＯ３を含有してなる金属酸化物薄膜を含有する薄膜装置に関する。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
