基体のコーティングのための方法および装置

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专利权人:

ツェーテーエフ・ゾラール・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング

发明人:

ハル・ミヒャエル,リヒター・ヒルマー,ボサート・シュテファン,シュトイテン・ラルフ,ゲオルゲ・シュテファン,ティッテル・ゼバスティアン,シャーデ・ヴェルナー

申请号：

JP20130553963

公开号：

JP6117116(B2)

申请日:

2012.02.20

申请国别(地区):

日本

年份:

2017

代理人:

摘要：

The invention relates to a method and device for coating plate-shaped substrates, in particular glass substrates for solar cell production. The method includes heating the substrates, which are moved on transporting shafts through heating and coating chambers, by a different amount on the upper and lower sides, so that the coating temperature can be increased without the substrates becoming too soft to handle. A device is described which is suitable for carrying out the method and has heating and coating chambers, which have independent heating systems, as well as a transport system.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/