感光性樹脂組成物、感光性シート、半導体装置および半導体装置の製造方法
- 专利权人:
- 東レ株式会社
- 发明人:
- 大西 啓之,増田 有希
- 申请号：
- JP20160511459
- 公开号：
- JPWO2016158150(A1)
- 申请日:
- 2016.02.29
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 下記一般式（１）で表される化合物を含む感光性樹脂組成物。【化１】（一般式（１）中、Ｒ１〜Ｒ４はそれぞれ水素原子、または炭素数１〜４の有機基であって、同一であっても異なっていても良く、Ｘは主鎖に下記一般式（２）に示す構造単位を２つ以上有する４価の有機基を示す。）【化２】（一般式（２）中、Ｒ５は水素原子または炭素数１〜２０のアルキル基を示し、同一分子中の複数のＲ５は同一であっても異なっていてもよい。）加熱焼成後に低ストレスの硬化膜を得ることができ、経時安定性に優れ高感度かつ高解像な感光性樹脂組成物を提供する。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
