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感光性接着剤組成物、それを用いる半導体装置の製造方法、及び半導体装置
专利权人:
日立化成株式会社
发明人:
田原 真吾,野部 茂,粕谷 圭,松谷 寛,青木 優,阿部 浩一,谷本 明敏
申请号:
JP20130208851
公开号:
JP6270024(B2)
申请日:
2013.10.04
申请国别(地区):
日本
年份:
2018
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive adhesive composition enabling consecutive pressure-bonding in production of a semiconductor device by lamination of a plurality of semiconductor chips, keeping excellent performance when left on a stage, and having buffer coat characteristics allowing the formation of a thin and high-definition adhesive pattern.SOLUTION: A photosensitive adhesive composition comprises (A) an alkali soluble copolymer resin having a structural unit represented by a specific formula, (B) a compound that generates acid by light, (C) a heat crosslinking agent, and (D) an acrylic resin having a structural unit represented by another specific formula.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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