焼結体及びその製造方法、スパッタリングターゲット及びその製造方法、並びに酸化物薄膜及びその製造方法
- 专利权人:
- 住友金属鉱山株式会社
- 发明人:
- 中山 徳行,阿部 能之
- 申请号：
- JP20150223637
- 公开号：
- JP2017088465(A)
- 申请日:
- 2015.11.16
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】優れたサーモクロミック特性を示す酸化バナジウム系薄膜を直流スパッタリングによって安定して成膜可能となるとともに、成膜速度を飛躍的に高めることが可能な焼結体を提供する。【解決手段】バナジウムを主成分とする焼結体であって、金属バナジウムと炭化バナジウムとを含有する。【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
