形状測定装置、構造物製造システム、ステージシステム、形状測定方法、構造物製造方法、プログラムを記録した記録媒体
- 专利权人:
- 株式会社ニコン
- 发明人:
- 荒巻 徹
- 申请号：
- JP20140550158
- 公开号：
- JPWO2014084131(A1)
- 申请日:
- 2013.11.22
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 測定精度に悪影響を及ぼすことを抑制できる形状測定装置を提供する。プローブ３は、物体Ｍに光を照射する照明光学系１３と、物体Ｍから反射する光を検出する撮像装置９を備えている。プローブ３を回転させる回転機構は、回転軸線５３ａから離れた位置に配置される。プローブ３の回転に伴い、物体Ｍに対するプローブ３の姿勢を変えることができる。撮像装置９で検出する信号を形状情報取得部１４で演算する。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
