形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム、及び記録媒体
- 专利权人:
- 株式会社ニコン
- 发明人:
- 山田 智明
- 申请号：
- JP20160527593
- 公开号：
- JPWO2015189985(A1)
- 申请日:
- 2014.06.13
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 被測定物の形状をより適切な条件で測定することができること。形状測定装置は、パターンを測定対象に光を投影する投影部と、投影部によりパターンが投影された測定対象を撮像する撮像部と、投影部と測定対象とを相対移動させて、測定対象へのパターンの前記測定対象上における投影位置を移動可能な移動部と、測定対象の測定に利用される情報を取得するための注目領域をパターンの像を含むように撮像部で撮像される領域の少なくとも一部に設定する注目領域設定部と、を備える。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
