您的位置：
首页
>
农业专利
>
详情页
位置算出方法、形状計測方法、形状計測装置、プログラム、記録媒体及び部品の製造方法
- 专利权人:
- キヤノン株式会社
- 发明人:
- 榎本 顕議,飯島 仁,前田 充史
- 申请号：
- JP20150198659
- 公开号：
- JP2017072447(A)
- 申请日:
- 2015.10.06
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】被検面を傾斜させる回転ステージの回転軸の実位置を簡便な作業で取得し、また、回転ステージの実位置を取得するのに要する時間を短縮する。【解決手段】ＣＰＵは、基準面を有する原器の設計形状に基づき、反射光の波面の変化量である波面敏感度をシミュレーションにより算出する（Ｓ１０２）。ＣＰＵは、原器からの反射光の第１波面を実測により算出する（Ｓ１０４）。ＣＰＵは、波面敏感度と第１波面を用いて基準面の頂点の第１位置を算出する（Ｓ１０５）。ＣＰＵは、θｙ回転ステージを回転させる（Ｓ１０６）。ＣＰＵは、原器からの反射光の第２波面を実測により算出する（Ｓ１０７）。ＣＰＵは、波面敏感度と第２波面を用いて基準面の頂点の第２位置を算出する（Ｓ１０８）。ＣＰＵは、基準面の頂点の第１位置及び第２位
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
