空心医用金属微针的制备方法
- 专利权人:
- 上海交通大学
- 发明人:
- 刘景全,闫肖肖,杨春生,唐刚,芮岳峰
- 申请号：
- CN200910055956.0
- 公开号：
- CN101623535B
- 申请日:
- 2009.08.06
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 摘要：
- 一种生物医学工程技术领域的空心医用金属微针的制备方法，首先通过光刻在双抛氧化硅片上开出硅刻蚀窗口；湿法刻蚀窗口中的硅得到四棱锥空腔；接着在硅片上甩负胶填充四棱锥空腔，通过负胶厚度来调整微针的高度；然后选择特定的掩膜版曝光去除倒四棱锥内的负胶，得到不同形状的微针空腔；在微针空腔内溅射金属薄膜作为导电层，并在导电层上电镀金属层；最后开出微针内微针通孔，并去除硅和负胶，以得到不同形状的空心金属微针。本发明采用硅与非硅复合方法制备空心金属微针，加工成本低。通过曝光可控制微针针尖的形状，改善微针刺入皮肤的效果；还能有效的控制微针的高度，改善微针的强度。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
