一种基于硅衬底的氧化铪空心微针及制备方法
- 专利权人:
- 华东师范大学
- 发明人:
- 张永华,斯蒂芬.A.坎贝尔
- 申请号：
- CN201610730862.9
- 公开号：
- CN106422044B
- 申请日:
- 2016.26.08
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种基于硅衬底的氧化铪空心微针及制备方法,其制备方法包括:单晶硅片的准备;硅片表面形成二氧化硅;硅片正面甩光刻胶、烘胶并图形化;刻蚀二氧化硅层得到微针的刻蚀窗口;硅片各向异性刻蚀得到锥形尖端;硅片深反应离子刻蚀得到深孔;原子层沉积方法沉积氧化铪膜;硅上氧化铪的完全刻蚀;硅片背面的碱性溶液湿法刻蚀,露出氧化铪微针末端;Oxford刻蚀机刻蚀掉氧化铪微针末端;硅片背面继续碱性溶液湿法刻蚀得到裸露的氧化铪微针阵列;切片。所制得的氧化铪空心微针呈柱状空心结构,微针末端为开口或不开口;本发明微针既可用于TDD,也可用于生物医学取样分析、用做生物医学用微电极。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
