台阶微针阵列的制备方法
- 专利权人:
- 上海交通大学
- 发明人:
- 刘景全,闫肖肖,杨春生,芮岳峰,李以贵
- 申请号：
- CN201010157116.8
- 公开号：
- CN101829394B
- 申请日:
- 2010.04.27
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 摘要：
- 一种生物医学工程技术领域的台阶微针阵列的制备方法，首先通过光刻在硅片上开出硅刻蚀窗口并采用湿法刻蚀硅刻蚀窗口中的硅，然后用切片机切割硅片得到微方柱阵列，并进一步切割微方柱阵列得到若干微方块，最后采用湿法刻蚀微方柱阵列得到台阶微针阵列。本发明制备得到高度不同的微针阵列，此微针阵列通过渐进式刺入皮肤。同时本发明制备过程简单，采用湿法刻蚀和机械加工结合的方法制备此微针阵列，成本低且便于普及。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
