基于表面微细加工工艺的异平面空心微针及其制备方法
- 专利权人:
- 上海交通大学
- 发明人:
- 李以贵,廖哲勋,朱军
- 申请号：
- CN201210005030.2
- 公开号：
- CN102526870A
- 申请日:
- 2012.01.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开一种基于表面微细加工工艺的异平面空心微针及其制备方法，所述方法采用基于湿法刻蚀工艺、UV-LIGA工艺和浇铸工艺，湿法刻蚀用于形成微针针尖结构，UV-LIGA用于实现微针针体部分，然后利用浇铸，形成一个内部中空的微针结构，从而实现出异平面空心微针。本发明利用特制模具浇铸而成，不需要昂贵的加工技术，能够实现快速复制及高速批量生产，而且湿法刻蚀和浇铸操作相对简单，整套工艺流程简单易行。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
