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化学機械研磨コンディショナー及びその製造方法
- 专利权人:
- 中國砂輪企業股▲ふん▼有限公司
- 发明人:
- 周 瑞麟,黄 庭笙,王 信君,蘇 學紳
- 申请号：
- JP20170091500
- 公开号：
- JP2018022877(A)
- 申请日:
- 2017.05.02
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】本発明は、ダイヤモンド粒子を用いた周知の化学機械研磨コンディショナーにある、研磨パッドを損傷させて詰まらせてウエハを傷付けてしまうことやＣＶＤダイヤモンドを用いた周知の化学機械研磨コンディショナーでは不純物や切屑を有効的に除去することができないことといった問題を解決することにある。【解決手段】本発明は、底部基板、中間基板及びダイヤモンド膜を包含し、前記中間基板は、前記底部基板上に設置し、中空部と、前記中空部を囲繞する環状部と、前記底部基板から離れて前記環状部から凸出する少なくとも一つの凸出リングとを包括し、前記凸出リングは、環状エリアに沿って離間するように配列する複数のバンプを包括し、前記バンプは、前記中間基板の径方向に沿って延在し、前記ダイヤモンド膜は、前記中間基
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
