インライン式成膜装置、および、成膜方法
- 专利权人:
- 株式会社アルバック
- 发明人:
- 飯島 栄一,磯 佳樹,伊藤 康正
- 申请号：
- JP20170010476
- 公开号：
- JP2017076821(A)
- 申请日:
- 2017.01.24
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】装置全体の設置面積の縮小を図ることができるインライン式成膜装置を提供する。【解決手段】真空雰囲気中で基板を取り付けたキャリアを搬送しつつ該基板に対し成膜を行う真空搬送機構１４と、キャリアを大気圧雰囲気中で真空搬送機構１４の基板搬送方向の逆の方向に搬送するリターン機構１６とを備え、リターン機構１６は、真空搬送機構１４の側壁に隣接して備えられた。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
