化学研磨による研磨方法、研磨用駆動装置、および研磨装置
- 专利权人:
- 三菱重工業株式会社
- 发明人:
- 篠木 貴文,安井 豊明,畑中 雅哉
- 申请号：
- JP20160140660
- 公开号：
- JP2018009235(A)
- 申请日:
- 2016.07.15
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】狭いあるいは複雑な形状をした空間が形成されたワークの内壁をも十分に研摩可能な方法および装置の提供。【解決手段】本発明の研磨方法は、化学研磨に用いられる研磨液Ｌを貯留する液槽１Ａ内において、研磨対象であるワーク１０を研磨液Ｌに、所定の浸漬時間ｔ０に亘り浸漬する浸漬ステップＳ１と、ワーク１０を研磨液Ｌから引き上げて、ワーク１０に形成されている空間１０１，１０２に液槽１Ａ内で入り込んだ研磨液Ｌを空間１０１，１０２から排出させる排出ステップＳ２とを含み、浸漬ステップＳ１と、排出ステップＳ２とを交互に繰り返して行う。【選択図】図２
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
