金属酸化物膜形成方法
- 专利权人:
- 気相成長株式会社;株式会社フィルテック
- 发明人:
- 町田 英明,石川 真人,須藤 弘,古村 雄二,清水 紀嘉,西原 晋治,拝形 英里
- 申请号：
- JP20150232700
- 公开号：
- JP2017101262(A)
- 申请日:
- 2015.11.30
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】緻密な金属酸化物膜を形成する技術を提供することである。【解決手段】ｎ（ｎは２以上の整数）量体の金属有機化合物を気化させ、前記ｎ（ｎは２以上の整数）量体の気化した金属有機化合物を単量体の金属有機化合物に解離させた後、前記金属有機化合物を基体に付着させ、前記基体に付着した金属有機化合物を金属酸化物に変化させる為の化合物を供給して該金属有機化合物を金属酸化物に変化させる。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
