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真空蒸着装置
- 专利权人:
- 有限会社ファームファクトリー
- 发明人:
- 中野 ▲鉄▼也
- 申请号：
- JP20170219572
- 公开号：
- JP2018024948(A)
- 申请日:
- 2017.11.15
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】大型の被処理物に対する蒸着処理にも適した真空蒸着装置を提供する。【解決手段】真空蒸着装置１００は、ステンレス材を直方体状に形成した処理炉１０１内にワーク保持機構１１０および原料気化機構１２０をそれぞれ備えている。ワーク保持機構１１０は、ベース体１１１に対してサイド支柱１１３を介して支持天板１１４が連結されており、これらのベース体１１１と支持天板１１４との間にワーク支持柱１１６が着脱自在に保持されている。このワーク保持機構１１０は、処理炉１０１の底部中央に配置されて駆動モータ１１８によって回転駆動する。原料気化機構１２０は、正負一対の電極１２１間に原料保持具１２３が架設されて構成されている。こ原料気化機構１２０は、処理炉１０１内におけるワーク保持機構１１０の外側の内壁
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
