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電子ビーム蒸発源及び真空蒸着装置
- 专利权人:
- 株式会社アルバック
- 发明人:
- 後田 以誠,矢島 太郎,磯野 堅一
- 申请号：
- JP20160518207
- 公开号：
- JPWO2016092788(A1)
- 申请日:
- 2015.12.04
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 広範囲に飛散する反射電子を安定的に捕捉することが可能な電子ビーム蒸発源及びそれを備えた真空蒸着装置を提供する。上記電子ビーム蒸発源は、蒸発材料保持部と、電子銃と、磁気回路部とを具備する。上記蒸発材料保持部は、第１の蒸発材料を保持することが可能な第１の保持領域を有する。上記電子銃は、上記第１の保持領域と上記第１の軸方向に並んで配置され、上記第１の保持領域に対して電子ビームを出射することが可能に構成される。上記磁気回路部は、軟磁性材料で構成された磁性板と、上記電子ビームが第１の蒸発材料で反射した反射電子を上記磁性板に向かって偏向させることが可能な反射電子偏向部材とを有し、上記電子銃と上記第１の保持領域を挟んで上記第１の軸方向に並んで配置される。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
