超声波换能器、超声波换能器的制造方法以及超声波拍摄装置
- 专利权人:
- 株式会社日立制作所
- 发明人:
- 长谷川浩章,龙崎大介,町田俊太郎,竹崎泰一
- 申请号：
- CN201780021776.3
- 公开号：
- CN108886660B
- 申请日:
- 2017.07.07
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2021
- 代理人:
- 摘要：
- 超声波换能器具有空洞部(110)和隔膜(120)，空洞部(110)形成于被基板(101)上的下部电极(103)和上部电极(107)夹着的绝缘膜(104)、(106)之间，隔膜(120)由空洞部(110)的上方的绝缘膜(106、108、111、112)及上部电极(107)构成，并且在发送/接收超声波时振动。另外，空洞部(110)在将中心部的厚度设为h1且将外周部的厚度设为h2时，具有满足h1＞h2＞0的关系的截面形状。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
