The transceiver (210) includes an array of pMUT elements (302), each pMUT (302) element disposed on a substrate (1030), a membrane (1034) suspended from the substrate (1030), a membrane (1034). A lower electrode (1002), a piezoelectric layer (1010) disposed on the lower electrode (1002), and a first electrode (1008) disposed on the piezoelectric layer (1010). Each pMUT element exhibits one or more vibration modes.トランシーバ（２１０）は、pMUT素子（３０２）のアレイを含み、各pMUT（３０２）素子は、基板（１０３０）、基板（１０３０）から懸架される膜（１０３４）、膜（１０３４）上に配置される下部電極（１００２）、下部電極（１００２）上に配置される圧電層（１０１０）、および圧電層（１０１０）上に配置される第一電極（１００８）を含む。各pMUT素子は、一つまたは複数の振動モードを示す。
