酸化亜鉛薄膜の製造方法、薄膜トランジスタの製造方法および透明酸化物配線の製造方法

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专利权人:

株式会社ニコン

发明人:

中積 誠,西 康孝

申请号：

JP20140523752

公开号：

JP6060972(B2)

申请日:

2013.07.02

申请国别(地区):

日本

年份:

2017

代理人:

摘要：

A method of manufacturing a zinc oxide thin film includes: immersing a base having a conductive portion in at least part of the base, in a solution containing zinc ions, hydroxide ions, and zinc complex ions; and by applying an alternating current to the conductive portion, forming a zinc oxide thin film on a region of the base, the region including the conductive portion.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/