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酸化物透明導電膜積層体、光電変換素子、および光電変換素子の製造方法
- 专利权人:
- 住友金属鉱山株式会社
- 发明人:
- 阿部 能之,山野辺 康徳,和気 理一郎,▲桑▼原 正和
- 申请号：
- JP20150128726
- 公开号：
- JP2017017047(A)
- 申请日:
- 2015.06.26
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】チタン含有酸化インジウム膜の近赤外域まで透過率が高く、かつ、導電性に優れるという特性を活かした透明電極を備える光電変換素子を提供する。【解決手段】インライン式スパッタリング法により、酸化インジウム、または、酸化インジウムを主成分として、スズをＳｎ／（Ｉｎ＋Ｓｎ）の原子数比で１９原子％以下の割合で含む、スズ含有酸化インジウムからなる、第１の酸化物透明導電膜８を光電変換層７側に形成し、その上に、酸化インジウムを主成分として、チタンをＴｉ／（Ｉｎ＋Ｔｉ）の原子数比で０．５〜３．５原子％の割合で含む、チタン含有酸化インジウムからなる、第２の酸化物透明導電膜９を光電変換層７とは異なる側に形成する。第１の酸化物透明導電膜８と第２の酸化物透明導電膜９とにより構成される、酸化物透明
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
