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酸化亜鉛系透明導電膜
专利权人:
住友化学株式会社
发明人:
中田 邦彦,堀田 翔平
申请号:
JP20140553101
公开号:
JPWO2014097963(A1)
申请日:
2013.12.12
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
亜鉛原子と、酸素原子と、以下に定義されるMとを含む酸化亜鉛系透明導電膜であって、該膜を構成する全原子数に対して、亜鉛原子数と、酸素原子数と、チタン原子数と、ガリウム原子数と、アルミニウム原子数の合計が99%以上であり、該膜に含まれる亜鉛原子数、チタン原子数、ガリウム原子数及びアルミニウム原子数の合計原子数に対して、チタン原子数、ガリウム原子数及びアルミニウム原子数の合計原子数の割合((チタン原子数+ガリウム原子数+アルミニウム原子数)/(亜鉛原子数+チタン原子数+ガリウム原子数+アルミニウム原子数)×100)が1.3%以上2.0%以下であり、該膜に含まれるチタン原子数、ガリウム原子数およびアルミニウム原子数の合計原子数に対してチタン原子数が少なくとも50%であり、キャリア電
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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