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Pressure sensor, microphone, ultrasonic sensor, blood pressure sensor, and touch panel
专利权人:
发明人:
MASUNISHI, KEI,増西桂,増西桂,FUKUZAWA, HIDEAKI,福泽英明,福澤英明,FUJI, YOSHIHIKO,藤庆彦,藤慶彦,YUZAWA, AKIKO,汤泽亜希子,湯澤亜希子,OKAMOTO, KAZUAKI,冈本和晃,岡本和晃
申请号:
TW104116487
公开号:
TW201608219A
申请日:
2015.05.22
申请国别(地区):
TW
年份:
2016
代理人:
摘要:
According to an embodiment, a pressure sensor includes a substrate, a support part, a flexible membrane part, and a magnetoresistive element. The support part is adhered on the substrate by using a first adhesive material with a first Youngs modulus and a second adhesive material with a second Youngs modulus different from the first Youngs modulus. The membrane part is supported by the support part. The magnetoresistive element is provided on the membrane part, and includes a first magnetic layer, a second magnetic layer, and a spacer layer provided between the first magnetic layer and the second magnetic layer.根據一實施方式,一種壓力感測器,包含:基板、支撐部、撓性膜部、和磁阻元件。支撐部藉由使用具有第一楊氏模量的第一黏合劑材料和具有與該第一楊氏模量不同的第二楊氏模量之第二黏合劑材料而黏合在基板上。撓性膜部藉由該支撐部支撐。磁阻元件設置在該膜部上,且包括第一磁性層,第二磁性層,和在該第一磁性層和該第二磁性層之間設置的間隔層。20‧‧‧MEMS晶片21‧‧‧支撐部22‧‧‧隔膜23‧‧‧磁阻元件24、25‧‧‧側31‧‧‧第一黏合劑材料32‧‧‧第二黏合劑材料
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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