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SENSOR, MICROPHONE, BLOOD PRESSURE SENSOR, AND TOUCH PANEL
专利权人:
TOSHIBA CORP;株式会社東芝
发明人:
OKAMOTO KAZUAKI,岡本 和晃,FUJI YOSHIHIKO,藤 慶彦,KAJI SHIORI,加治 志織,HIGASHI YOSHIHIRO,東 祥弘,NAGATA TOMOHIKO,永田 友彦,BABA SHOTARO,馬場 祥太郎,HARA MICHIKO,原 通子
申请号:
JP2018036470
公开号:
JP2019152480A
申请日:
2018.03.01
申请国别(地区):
JP
年份:
2019
代理人:
摘要:
To provide a sensor, a microphone, a blood pressure sensor, and a touch panel with which it is possible to improve sensitivity.SOLUTION: According to one embodiment, a sensor includes a deformable film part and a first detection element provided in the film part. The first detection element includes a first magnetic layer, a second magnetic layer, and a non-magnetic first intermediate layer provided between the first and the second magnetic layers. The first magnetic layer includes a first film containing Fe and Co, a second film containing Fe and Co, a third film, and a fourth film. The third film is provided between the first and the second films, and contains at least one selected from the group consisting of Cu, Au, Ru, Ag, Pt, Pd, Ir, Rh, Re and Os. The fourth film is provided between the third and the second films, and contains at least one selected from the group consisting of Mg, Ca, Sc, Ti, Sr, Y, Zr, Nb, Mo, Ba, La, Hf, Ta, and W.SELECTED DRAWING: Figure 1【課題】感度を向上できるセンサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネルを提供する。【解決手段】実施形態によれば、センサは、変形可能な膜部と、膜部に設けられた第1検知素子と、を含む。第1検知素子は、第1磁性層と、第2磁性層と、第1磁性層と第2磁性層との間に設けられ非磁性の第1中間層と、を含む。第1磁性層は、Fe及びCoを含む第1膜と、Fe及びCoを含む第2膜と、第3膜と、第4膜と、を含む。第3膜は、第1膜と第2膜との間に設けられ、Cu、Au、Ru、Ag、Pt、Pd、Ir、Rh、Re及びOsよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。第4膜は、第3膜と第2膜との間に設けられ、Mg、Ca、Sc、Ti、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、Ba、La、Hf、Ta及びWよりなる群から選択された少なくとも1つを含む。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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