您的位置: 首页 > 农业专利 > 详情页

Pressure sensor, microphone, ultrasonic sensor, blood pressure sensor, and touch panel
专利权人:
发明人:
MASUNISHI, KEI,増西桂,増西桂,FUKUZAWA, HIDEAKI,福泽英明,福澤英明,FUJI, YOSHIHIKO,藤庆彦,藤慶彦,YUZAWA, AKIKO,汤泽亜希子,湯澤亜希子,OKAMOTO, KAZUAKI,冈本和晃,岡本和晃
申请号:
TW104116488
公开号:
TW201608220A
申请日:
2015.05.22
申请国别(地区):
TW
年份:
2016
代理人:
摘要:
According to an embodiment, a pressure sensor includes a support part, a flexible membrane part, and a magnetoresistive element. The flexible membrane part is supported by the support part, and includes a first region and a second region with rigidity lower than rigidity of the first region. The magnetoresistive element is provided on the membrane part, and includes a first magnetic layer, a second magnetic layer, and a spacer layer provided between the first magnetic layer and the second magnetic layer.根據一實施方式,一種壓力感測器,包含:支撐部,撓性膜部,和磁阻元件。撓性膜部藉由該支撐部支撐,和包括第一區域和具有比第一區域的剛性低的剛性的第二區域。磁阻元件設置在該膜部上,和包括第一磁性層,第二磁性層,和在該第一磁性層和該第二磁性層之間設置的間隔層。11‧‧‧樹脂基板20‧‧‧MEMS晶片21‧‧‧支撐部22‧‧‧隔膜22A‧‧‧第一區域22B‧‧‧第二區域23‧‧‧磁阻元件
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

意 见 箱

匿名:登录

个人用户登录

找回密码

第三方账号登录

忘记密码

个人用户注册

必须为有效邮箱
6~16位数字与字母组合
6~16位数字与字母组合
请输入正确的手机号码

信息补充