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蒸着膜の製造方法及び蒸着装置
- 专利权人:
- 日東電工株式会社
- 发明人:
- 肥田 加奈子
- 申请号：
- JP20150210424
- 公开号：
- JP2017082272(A)
- 申请日:
- 2015.10.27
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】近接蒸着法にも適用可能な３元共蒸着装置等を提供する。【解決手段】本発明に係る３元共蒸着装置１００は、それぞれ異なる種類の有機蒸着材料を収容する３つの蒸着源１（１ａ、１ｂ、１ｃ）と、３つの蒸着源からそれぞれ放出された有機蒸着材料を個別に流通させる３つの筒状部材２（２ａ、２ｂ、２ｃ）と、一端側が３つの筒状部材に連通し、他端側に１つの放出開口３１が設けられた１つのノズル３と、を備える。好ましくは、放出開口は、３つの筒状部材のうち何れか１つの筒状部材２ａのノズルに連通する側の端部開口２１ａに正対する位置に設けられ、放出開口の寸法Ｌｘは、１つの筒状部材２ａの端部開口の寸法Ｌａ以下である。より好ましくは、放出開口の寸法Ｌｘは、１つの筒状部材２ａの端部開口の寸法Ｌａと略同一である
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
