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防着装置、蒸着装置、及び薄膜を有する被処理材の製造方法
- 专利权人:
- 凸版印刷株式会社
- 发明人:
- 大薗 剣吾
- 申请号：
- JP20150205334
- 公开号：
- JP2017078182(A)
- 申请日:
- 2015.10.19
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】蒸着粉の発生を防止する。【解決手段】真空チャンバーと、前記真空チャンバー内に、蒸着材料と、前記蒸着材料を加熱する加熱装置と、前記蒸着材料の上に被処理材とを備え、前記加熱装置で加熱された前記蒸着材料が蒸発又は昇華して被処理材の下面に蒸着して薄膜を形成する蒸着装置において、前記蒸着材料と、前記被処理材の下面との間の空間の周囲に、巻き出しロール（３１）と巻き取りロール（３３）とを備え、巻き出しロール（３１）には、予めフィルム状の防着材（３２）が巻かれており、巻き出しロール（３１）から巻き出されるフィルム状の防着材（３２）は、巻き取りロール（３３）に巻き取られる防着装置（２２）を複数配置し、この空間を遮蔽する。【選択図】図２
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
