感光性樹脂組成物および半導体素子の製造方法
- 专利权人:
- 東レ株式会社
- 发明人:
- 谷垣 勇剛,藤原 健典,諏訪 充史
- 申请号：
- JP20170018181
- 公开号：
- JP2017097378(A)
- 申请日:
- 2017.02.03
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】高耐熱性で、パターン形状制御が可能で、かつ、低コストな高温イオン注入プロセスに適用できる、感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】ポジ型またはネガ型の感光性を示し、イオン注入工程におけるマスクとして使用される感光性樹脂組成物であって、樹脂として（Ａ）ポリシロキサンを含有する感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
