研磨用磨粒、及其制造方法、研磨方法、研磨装置及浆料
- 专利权人:
- 旭日化成工业株式会社
- 发明人:
- 藤本俊一,山下哲二
- 申请号：
- CN201580006561.5
- 公开号：
- CN105940076A
- 申请日:
- 2015.01.19
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 郁旦蓉
- 摘要：
- 本发明是以湿式研磨法研磨被研磨材。浆料是将研磨用磨粒分散于纯水中而成。研磨用磨粒是使发挥机械化学作用的成分、或对研磨被研磨材时产生的摩擦热起反应的成分等以全体一体化成粒子状。各成分是分别保持各成分的物质固有的性质的状态，通过机械合金化处理而相互直接结合而成。蓝宝石或碳化硅或氮化镓等摩擦工序中使用该浆料时，可比过去大幅缩短研磨时间，可大幅改善加工成本。研磨面为高质量。研磨用磨粒可重复使用于研磨处理。由于浆料的pH为3～9左右，所以不会对研磨作业场环境造成影响，废液的处理也简单。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
